美國TESCOM單級調壓器-特種、腐蝕性和可自燃氣體44-5000系列
美國TESCOM 44-5000系列單級調壓器（特種、腐蝕性和可自燃氣體）
產品概述
44-5000系列是美國TESCOM公司設計用于特種氣體、腐蝕性氣體及可自燃氣體的單級壓力調節(jié)器。該系列采用高質量材料與特殊工藝，確保在苛刻氣體應用中的安全性、穩(wěn)定性和耐久性。
產品參數
- 系列型號：44-5000系列（涵蓋多種入口/出口壓力配置）
- 調壓類型：單級調壓
- 適用氣體：特種氣體、高純度腐蝕性氣體（如HCl、HBr、SiH4等）、可自燃氣體（如硅烷、磷烷等）
- 入口壓力范圍：最高可達3000 psig（約207 bar）
- 出口壓力范圍：通常0-50 psig、0-100 psig等（可根據需求定制）
- 主體材質：316L不銹鋼、哈氏合金等耐腐蝕材料
- 膜片材質：特種合金或涂層膜片，兼容腐蝕性介質
- 密封材料：全金屬密封或特種氟橡膠（如Kalrez®）
- 連接接口：VCR®、CGA、NPT等標準氣體連接方式
- 泄漏率：符合SEMI標準，通常≤1×10⁻⁹ atm cc/sec He
- 工作溫度：-40°F 至 165°F（-40°C 至 74°C）
- 安全標準：符合ASME、DIN等國際壓力設備規(guī)范
使用注意事項
- 氣體兼容性：必須嚴格確認調壓器材質與所處理氣體的化學兼容性，防止腐蝕或反應。
- 安裝環(huán)境：應在通風良好、無火花、無靜電積累的環(huán)境安裝，尤其對于可自燃氣體。
- 泄漏檢測：使用前及定期進行泄漏檢測，建議使用氦質譜檢漏儀。
- 壓力限制：嚴禁超過標稱的最大入口壓力和出口壓力范圍。
- 凈化程序：對于高純度或毒性氣體，需遵循嚴格的系統(tǒng)凈化與吹掃程序。
- 維護與維修：應由經過培訓的專業(yè)人員進行維護，禁止用戶自行拆卸核心部件。
- 報廢處理：報廢的調壓器需按危險廢棄物處理規(guī)定執(zhí)行，確保殘留氣體安全中和或清除。
- 認證與記錄：確保產品具有完整的產品追溯記錄和材料認證（如材料檢驗報告）。
典型應用
半導體制造、太陽能電池生產、LED外延片生長、特種化學研究、分析儀器供氣系統(tǒng)等高端工業(yè)領域。 |
