上海雙旭SMC高真空閥系列產(chǎn)品介紹
一、 產(chǎn)品概述
上海雙旭SMC高真空閥是專為高真空及超高真空系統(tǒng)設計的精密閥門，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析儀器、科研實驗等領域。該系列閥門以其可靠的密封性、低漏率、耐腐蝕性和長壽命著稱。
二、 型號及關鍵參數(shù)
1. XLA-25
- 連接口徑： NW25 / KF25
- 閥體材料： 不銹鋼 (如SUS304)
- 密封材料： 氟橡膠(FKM)或金屬密封
- 漏率： ≤ 1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s (氟橡膠密封)
- 適用壓力范圍： 大氣壓 ~ 1.3×10⁻⁷ Pa
- 驅動方式： 手動、氣動或電動
- 安裝方式： 法蘭連接
2. XLG-40-M9
- 連接口徑： 特殊接口，M9螺紋或快接
- 閥體材料： 不銹鋼
- 密封材料： 氟橡膠(FKM)
- 漏率： ≤ 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s
- 適用壓力： 高真空范圍
- 特點： 緊湊型設計，適用于空間受限的儀器內部管路。
3. XLF-50-M9BC
- 連接口徑： NW50 / KF50，帶M9BC特殊接口
- 閥體材料： 不銹鋼
- 密封材料： 氟橡膠或金屬密封可選
- 漏率： ≤ 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s (氟橡膠)，金屬密封可達更高真空度
- 驅動方式： 通常為氣動
- 特點： "BC"可能表示帶反饋信號（如開/關位置傳感器）。
4. XLD-50-M9
- 連接口徑： NW50 / KF50，帶M9接口
- 閥體材料： 不銹鋼
- 密封材料： 氟橡膠(FKM)
- 漏率： ≤ 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s
- 閥類型： 可能是擋板閥、角閥或直通閥。
- 驅動方式： 手動或氣動。
三、 使用注意事項
- 安裝前檢查： 安裝前確認閥門規(guī)格與系統(tǒng)管路匹配，檢查密封面是否清潔、無劃傷。
- 清潔處理： 安裝前需對閥門及連接管路進行徹底清潔和干燥，避免污染物進入真空系統(tǒng)。
- 安裝力度： 法蘭連接時需均勻對角擰緊螺栓，避免因受力不均導致泄漏或損壞密封件。
- 操作壓力： 嚴禁在閥門兩側存在較大壓差時強行開啟，尤其是手動閥，以免損壞閥瓣密封件。
- 環(huán)境與介質： 確認閥門密封材料（如FKM）與系統(tǒng)內的介質（如腐蝕性氣體）和工作溫度兼容。
- 氣動/電動驅動： 確保驅動氣源壓力在額定范圍內（通常為0.4~0.6MPa），電源電壓與電磁閥要求一致。
- 維護保養(yǎng)： 定期檢查密封性能。更換密封件時，需使用原廠或指定規(guī)格配件，并重新進行檢漏。
- 系統(tǒng)檢漏： 閥門安裝到系統(tǒng)后，必須對連接部位進行整體氦質譜檢漏，確保達到系統(tǒng)要求的漏率標準。
- 儲存： 閥門不使用時，應處于關閉狀態(tài)，保持接口清潔并密封包裝，存放于干燥無塵環(huán)境。
