陶瓷手臂半導(dǎo)體絕緣耐磨耐高溫陶瓷吸盤氧化鋁氧化鋯
上海雙旭陶瓷手臂半導(dǎo)體絕緣耐磨耐高溫陶瓷吸盤（氧化鋁/氧化鋯）
產(chǎn)品概述
本產(chǎn)品專為半導(dǎo)體制造、精密電子裝配及高溫高潔凈度環(huán)境設(shè)計(jì)，采用高純度氧化鋁（Al₂O₃）或氧化鋯（ZrO₂）陶瓷材料制成。具備卓越的絕緣性、耐磨性、耐高溫性和化學(xué)穩(wěn)定性，是晶圓、芯片、玻璃基板等精密部件搬運(yùn)、定位與吸附的理想夾具。
核心產(chǎn)品參數(shù)
- 材料：高純度氧化鋁陶瓷（99% Al₂O₃）或氧化鋯陶瓷（ZrO₂，部分穩(wěn)定）
- 最高工作溫度：氧化鋁：≥1500°C；氧化鋯：≥1400°C
- 體積電阻率：>10¹⁴ Ω·cm（常溫）
- 硬度：氧化鋁（莫氏硬度9級(jí)）；氧化鋯（莫氏硬度8.5級(jí)）
- 抗彎強(qiáng)度：氧化鋁：≥300 MPa；氧化鋯：≥1000 MPa
- 熱膨脹系數(shù)：低，確保高溫下尺寸穩(wěn)定
- 表面粗糙度：可根據(jù)需求定制，通常Ra ≤ 0.4μm（鏡面級(jí)可選）
- 吸附孔徑與布局：根據(jù)客戶工件尺寸及真空系統(tǒng)定制
- 主要尺寸：根據(jù)機(jī)械手臂接口及工件要求定制
使用注意事項(xiàng)
- 安裝與對(duì)接：安裝時(shí)需確保吸盤與機(jī)械手臂法蘭面清潔、平整、對(duì)中，緊固螺栓需按對(duì)角線順序均勻施力，防止陶瓷因局部應(yīng)力開(kāi)裂。
- 真空系統(tǒng)：確保真空管路清潔、無(wú)泄漏。吸附前檢查真空度是否達(dá)到工藝要求（通常需達(dá)到-80kPa以上）。避免尖銳異物堵塞吸附孔。
- 負(fù)載與沖擊：嚴(yán)禁超載使用，避免任何形式的側(cè)面撞擊或敲打。陶瓷材料硬度高但脆性大，不耐沖擊。
- 溫度管理：雖然耐高溫，但應(yīng)避免急劇的溫度變化（熱沖擊），升溫與冷卻速率需控制在材料允許范圍內(nèi)（通常<100°C/分鐘）。
- 清潔維護(hù)：定期清潔吸盤表面。建議使用去離子水、無(wú)水乙醇或?qū)Ｓ们逑磩┡浜蠠o(wú)塵布擦拭。嚴(yán)禁使用氫氟酸等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品清洗氧化鋁陶瓷。
- 工件兼容性：吸附工件前，確認(rèn)工件背面平整、潔凈，無(wú)凸起或顆粒物，以防劃傷陶瓷表面或?qū)е挛讲环�(wěn)。
- 存儲(chǔ)環(huán)境：存放于干燥、無(wú)塵的環(huán)境中，建議單獨(dú)包裝，避免堆疊或與硬物碰撞。
- 定期檢查：定期檢查吸盤表面有無(wú)裂紋、崩邊，吸附孔是否通暢，真空密封圈是否老化，確保使用安全與性能。
選型指南
氧化鋁陶瓷：性價(jià)比高，絕緣性、耐磨性極佳，適用于大多數(shù)半導(dǎo)體和精密電子應(yīng)用場(chǎng)景。
氧化鋯陶瓷：斷裂韌性更高，抗彎強(qiáng)度遠(yuǎn)超氧化鋁，耐沖擊性能更優(yōu)，適用于對(duì)強(qiáng)度要求苛刻或可能承受一定機(jī)械應(yīng)力的場(chǎng)合。 |
